• Masterbitz

El director de tecnología de ASML espera que la litografía posterior a la de alto nivel de ruido

En una entrevista concedida a Bits & Chips, el director de tecnología de ASML, Martin van den Brink, dijo que cree que podríamos estar llegando al final del camino para la tecnología actual de litografía de semiconductores en un futuro no muy lejano. Sin embargo, por el momento, ASML está ejecutando su hoja de ruta y, después de la EUV, el siguiente paso es la alta AN o alta apertura numérica, y ASML está planeando actualmente tener su primer escáner de alta AN de investigación listo para una empresa conjunta de I+D con Imec en 2023. Suponiendo que todo vaya según lo previsto, ASML planea entregar las primeras máquinas de I+D a sus clientes en 2024, seguidas de la entrega de las primeras máquinas de producción en serie con alta apertura numérica en algún momento de 2025. Van den Brink señala que, debido a la actual cadena de suministro, las incertidumbres podrían afectar al calendario, en combinación con el hecho de que ASML tiene una gran demanda de sus máquinas EUV y las dos tecnologías comparten muchos componentes.


Por lo tanto, los pedidos actuales son la prioridad y el desarrollo de alto-NA podría pasar a un segundo plano si fuera necesario, o como dice Van den Brink "la comida de hoy tiene prioridad sobre la de mañana". Se espera que los escáneres de alto nivel de AN tengan aún más demanda de energía que las máquinas EUV y, por lo tanto, se espera que consuman alrededor de dos megavatios en las distintas etapas. El siguiente paso en la evolución de la litografía de semiconductores es donde ASML espera que las cosas se pongan problemáticas, ya que se espera que lo que la empresa está llamando actualmente hiper-NA sea prohibitivamente costoso de fabricar y utilizar. Si el coste de la hiper-NA crece tan rápido como el de la alta-NA, será prácticamente inviable desde el punto de vista económico", afirma Van den Brink. ASML espera superar los problemas de costes, pero por ahora, la empresa tiene un plan para la próxima década y las cosas podrían muy bien cambiar durante ese tiempo y eliminar algunos de los obstáculos que se ven actualmente.

Fuentes: Bits & Chips, vía @dnystedt

0 visualizaciones0 comentarios