Intel instala la máquina EUV ASML TWINSCAN EXE:5200B de alta NA para el nodo 14A

Intel Foundry anunció que ha logrado instalar la máquina EUV más avanzada del mundo, el escáner TWINSCAN EXE:5200B High-NA EUV del mundo, en sus instalaciones. La compañía está produciendo su nodo 14A utilizando la litografía High-NA EUV, marcando la primera transición de la industria desde Low-NA. En colaboración con ASML, Intel ha completado las pruebas de aceptación en Intel Foundry para su nodo 14A para mejorar la salida de la oblea. El TWINSCAN EXE:5200B es la segunda versión de ASML de los escáneres EUV High-NA, después del TWINSCAN EXE: 5000, que Intel utilizó inicialmente para sus ejecuciones de prueba 14A. Intel informó previamente el procesamiento de más de 30.000 obleas en un solo trimestre, logrando una fabricación simplificada al reducir los pasos necesarios para una capa específica de 40 a menos de 10, lo que resulta en tiempos de ciclo significativamente más rápidos.

El nuevo TWINSCAN EXE:5200B logra una salida de 175 obleas por hora en condiciones estándar, donde Intel planea sintonizarlo 200 obleas por hora. La máquina también avanza la precisión de la superposición, permitiendo la alineación precisa de distintas capas de litografía de hasta 0,7 nanómetros. Este logro se basa en la experiencia High NA EUV de Intel, que comenzó en 2023 con la instalación de la primera herramienta comercial High NA de la industria en su instalación de investigación y desarrollo de Oregon. Intel está enviando actualmente 14A PDK 0.5 a los clientes, que son rPor supuesto, muy satisfecho Con el desarrollo del nodo. La propia compañía ha elogiado el desarrollo del nodo 14A, ya que ha estado logrando parámetros de rendimiento y rendimiento mucho mejores en esta etapa de desarrollo que el nodo 18A.

 

Intel planea comenzar la producción en volumen de su nodo 14A en 2027, y los clientes están ansiosos por probar la nueva tecnología. Sin embargo, los clientes a menudo expresan su preocupación por la seguridad y la capacidad de oblea suficiente cuando trabajan con nuevos socios fabulosos. Para abordar estos problemas, Intel necesitará adquirir máquinas EUV de alta NA más avanzadas antes de expandir su base de clientes. Si bien el procesamiento de 30.000 obleas por trimestre puede ser suficiente para algunos clientes, se necesitan más máquinas para una producción significativa de la fundición. El nodo 18A, construido sobre la tecnología Low-NA EUV, continuará produciéndose junto con 14A y vendrá en varias versiones, lo que debería ayudar a equilibrar las demandas de capacidad.

Fuente: Intel