Las máquinas ASML High-NA EUV Twinscan EXE cuestan 380 millones de dólares, ya se han reservado entre 10 y 20 unidades
ASML ha revelado que sus vanguardistas herramientas de fabricación de chips en ultravioleta extremo (EUV) High-NA, denominadas High-NA Twinscan EXE, costarán unos 380 millones de dólares cada una, más del doble que sus actuales sistemas de litografía EUV Low-NA, que cuestan unos 183 millones de dólares. La empresa ha recibido entre 10 y 20 pedidos iniciales de empresas como Intel y SK Hynix y tiene previsto fabricar 20 sistemas High-NA al año de aquí a 2028 para satisfacer la demanda. La tecnología High-NA EUV representa un gran avance, ya que permite una resolución de impresión mejorada de 8 nm en comparación con los 13 nm de las actuales herramientas Low-NA EUV. Esto permite a los fabricantes de chips producir transistores casi 1,7 veces más pequeños, lo que supone triplicar la densidad de transistores en los chips. Alcanzar este nivel de precisión es fundamental para fabricar chips de menos de 3 nm, un objetivo de la industria para 2025-2026. También elimina la necesidad de las complejas técnicas de doble patrón que se requieren en la actualidad.
Sin embargo, un rendimiento superior tiene un coste, literal y figurado. El elevado precio de 380 millones de dólares de cada sistema High-NA plantea problemas financieros a los fabricantes de chips. Además, las herramientas High-NA de mayor tamaño exigen reconfigurar por completo las instalaciones de fabricación de chips. Su campo de imagen reducido a la mitad también obliga a replantearse el diseño de los chips. Como consecuencia, los plazos de adopción difieren de una empresa a otra: Intel tiene previsto implantar la EUV de alta AN en un nodo avanzado de 1,8 nm (18A), mientras que TSMC está adoptando un enfoque más conservador, con la posibilidad de no implantarla hasta 2030 y sin precipitarse en el uso de estas máquinas litográficas, ya que los nodos de la empresa ya se están desarrollando bien y a tiempo. Curiosamente, el proceso de instalación del sistema ASML Twinscan EXE de 150.000 kilogramos y alta AN requirió 250 cajas, 250 ingenieros y seis meses para completarse. Así pues, la producción es tan compleja como la instalación y el funcionamiento de esta delicada maquinaria.
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