Nikon presenta sustratos de 600x600 mm para silicio AI avanzado

Nikon ha anunciado que hoy empezará a aceptar pedidos de su sistema de litografía digital DSP-100, una herramienta de back-end diseñada específicamente para la próxima generación de envases de semiconductores avanzados. La empresa entregará las primeras unidades durante el año fiscal 2026. El DSP-100 está diseñado específicamente para el empaquetado a nivel de panel (PLP), una tecnología que líderes del sector como TSMC, Intel y Samsung están adoptando para superar las limitaciones de coste y superficie de las obleas de 300 mm. Los sustratos rectangulares estandarizados, ya fijados en 510x515 mm, permiten integrar más chiplets de cálculo, pilas de HBM4 y troqueles de E/S en un único paquete. Los ingenieros de Nikon han llevado el estándar aún más lejos al permitir la exposición en paneles de cristal o resina de hasta 600×600 mm. Las especificaciones clave publicadas hoy muestran una resolución de línea y espacio de 1,0 µm, una precisión de superposición de ± 0,3 µm y un rendimiento de 50 paneles por hora en el tamaño de 510x515 mm.

Al eliminar las fotomáscaras y, en su lugar, dirigir una fuente de luz equivalente a una línea i a través de un modulador espacial de luz (SLM), la DSP-100 evita tanto la distorsión óptica inherente a los grandes sistemas de una sola lente como el gasto que suponen los juegos de máscaras. Una matriz multilente patentada, tomada de la división de pantallas planas de Nikon, cose el patrón a la perfección en todo el sustrato. Con un panel de 600×600 mm que aloja 36 de los paquetes cuadrados de 100 mm, el sistema ofrece una productividad nueve veces mayor que los procesos de obleas de 300 mm, lo que reduce drásticamente el coste por troquel. La arquitectura sin máscaras también acorta los ciclos de iteración del diseño, una ventaja crítica a medida que las cargas de trabajo de IA generativa impulsan la evaluación rápida de los aceleradores del centro de datos. Nikon afirma que la producción en serie del DSP-100 comenzará en 2026 y que el precio se comunicará únicamente a los compradores cualificados.

Fuentes: Nikon, vía Hardwareluxx